石墨舟wafer污染可分哪幾種

　石墨舟污染分析及分類：

　　1.正常情況下，硅烷氨氣，在高溫，高頻光輝放電的作用下會生成一層較清潔干凈，不可擦掉的氮化硅生成物，附著在爐壁上。隨著鍍膜次數(shù)的增加，爐壁的SIN層越厚。

　　2.在真空及氣流的作用下會產生流沙一樣的土黃色的SIN小顆粒。沉積到特氣孔法蘭內，或分布于爐管的底部，及爐壁上。

　　3.由于氮氣不清潔（沒有安裝氮氣過濾器），在氮氣管壁有白色顆粒，在充氮氣回壓時隨氮氣到爐管，附著到wafer或許石墨舟上，形成小白點。

　　4.在工藝制程結束后特氣管道吹掃不干凈（流量計異常），有濃度較低的硅烷。在出石墨舟過程中隨氮氣沖出，在特氣孔周圍遇氧燃燒產生白色或許淡黃色的氧化硅霧狀附著物。

　　5.最嚴重的是硅烷羊角閥，或用流量計有漏，在沖N2時由于控制不好，會有濃度相對較高的SIH4漏出,在特氣孔處遇氧產生明火。燃燒產生的土灰色雪花狀漂浮物，會污染整個爐管，和石墨舟及舟內wafer上。

　　根據以上分析爐管粉塵污染大致分為如下幾類：

　　1.石墨舟舟片上淡黃色微顆粒；

　　2.石墨舟舟片上可去掉，或不可去掉小白點；

　　3.石墨舟舟片上黃色或者白色霧狀附著物（稱為氣流異常）；

　　4.石墨舟舟片上雪花狀漂浮物；

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